適用于8英寸及以下、晶圓獨立高溫柵偏試驗（HTGB)、高溫反偏試驗（HTRB）、Vth測試及老化篩選。系統(tǒng)符合并滿足JEP183、MIL-STD-750D、GJB128B、AEC-Q101等試驗標準；提供API接口，開放設備狀態(tài)、通道狀態(tài)、試驗數(shù)據(jù)、失效數(shù)據(jù)等對外接口，可部署在私有云或者公有云上，實現(xiàn)實驗室設備、工作人員、任務及數(shù)據(jù)的數(shù)字化管理，提升試驗效率及試驗規(guī)范化、標準化程度；配備老化夾具搬運機構，實現(xiàn)上下料機和老化測試臺之間老化夾具搬運；搬運機構具備自動升降功能，手動或自動運動到上下料機和測試臺，自動從上下料機和老化測試臺工位取放夾具；標配SMIF（天車專用版），SMIF需配置RFID，可以讀取POD ID（正面）和Cassette ID(右邊)；配置E84通訊協(xié)議，以及配置Loadport天車搬運的安全擋板和光柵。
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┃ 試驗數(shù)量 | 支持單chuck 2112 die 同時老化; |
┃ 試驗溫度 | 每區(qū)加熱臺室溫～200℃，準確性±2℃，溫度過沖≤3℃; |
┃ HTRB ┃ IDSS電流檢測 | 電壓0～2000V，分辨率1V; 0.1μA～1mA，分辨率0.1uA，檢測精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ HTGB ┃ IGSS電流檢測 | 電壓±60V，分辨率0.1V; 10pA～500uA，分辨率10pA，檢測精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ 閾值電壓檢測 ┃ 保護氣壓
| 0~10V，分辨率0.1V; 0～4bar惰性氣體
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